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匀胶机

    德国SPS-EUROPE公司匀胶机具有转速稳定,启动快速,涂胶一致性和均匀性好等特点,广泛应用于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺制版表面涂覆。
  1. 详细信息

工作原理

匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

独有特征

可编程全尺寸彩色触摸屏控制器,可拆卸,耐化学试剂腐蚀。速度、加速和时间可编程;无限量程序存储空间,可存储旋涂多步骤工作协议,具有协议密保功能。

可编程转速范围: 1rpm-12,000rpm,转速参数设置范围广,高精确性旋转速度 (± 0.1 rpm)。

数字电机控制,带增速数字显示信号反馈,以避免转速过量,从而提升涂膜的品质。

防静电PET透明衬套,杜绝工作仓室的交叉污染。

图片2.png一体化结构设计,壳体采用α-聚丙烯(NPP-H)材质,传动系统采用工程塑料材质,寿命长耐腐蚀。

采用经过热处理透明玻璃盖。玻璃盖带弹簧可自动将盖子固定在理想位置,玻璃盖上带注射器固定架和氮气扩散器,注射器固定架以固定的位移距离和位置注入抗蚀剂/化学试剂,氮气扩散器在旋涂过程可注入到工作舱氮气/氩气,工作舱环境可控。

安全互锁装置:工作舱盖锁止,舱盖打开旋转自动停止,真空不足或没有真空旋转自动停止,过载保护。

USB端口:可上传和下载旋涂协议和软件。

三个外接控制端口,可用于接入注入单元自动控制,氮气扩散器控制等。

产品通过CE认证。

技术参数

 


SPN150i

SPN200i

控制方式

全彩触摸屏控制界面

全彩触摸屏控制界面

结构材质

聚丙烯(NPP-H)材质

聚丙烯(NPP-H)材质

旋转速度

1-12000rpm ±1rpm steps

1-12000rpm ±1rpm steps

旋转精度

±0.1rpm

±0.1rpm

旋转方向

顺时针,逆时针,交换摆动

顺时针,逆时针,交换摆动

加速/减速

1-30,000rpm/秒 (每步可选)

1-30,000rpm/秒 (每步可选)

旋转时间

 0.1-99999秒/步

 0.1-99999秒/步

基片范围

160mm 或6"直径或4"x4"方片

260mm 或6"直径或6"x6"方片

腔体直径

202mm

302mm

外接控制端口

3个

3个

真空开关

外形尺寸

27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

380x559x307cm(WxDxH)


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