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乐虎电感耦合等离子清洗机

    乐虎推出电感耦合等离子清洗机,其外观美学设计,结构紧凑,漂亮大气,优化的腔体结构及合理的结构设计,使得处理样品量更大,适用范围更广,性能更稳定,操作更简便,性价比更高,使用成本更低,实用性更强,更容易维护。在材料学,光学,电子学,医药学,环境学、生物学等科研领域,主要用于材料表面进行清洗、活化、改性等目的。
  1. 详细信息


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产品特点

u?PLC工控机控制整个去胶过程,全自动进行。

u?7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,0~99个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。手动、自动两种工作模式。

u?采用石英真空仓,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

u?自动匹配器,功率无极可调。

u?采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计双路气体控制气体流量,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用

u?符合人体功能学的60度倾角操作界面设计,操作方便,界面友好。

u?上控制下舱体上下结构设计,结构更合理,占用实验室空间小

u?内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。

u?处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。

u?样品处理温度热损伤和热氧化

u?安全保护,仓门打开,自动关闭电源。??

技术参数

型号

ICP-5

ICP-5plus

舱体尺寸

D260xΦ155mm

D260xΦ155mm

舱体容积

5L

5L

射频电源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

激发方式

360度外置环绕电极,电感耦合

360度外置环绕电极,电感耦合

射频功率

10-300W可调

10-150W可调

最大处理尺寸

L260xW155mm

L260xW155mm

真空系统

石英真空仓、316不锈钢材质真空管路

气体控制

浮子流量计双路控制气体流量

工艺气体

Ar、N?、O?、H?等(可选)

产品尺寸

L618xW520xH465mm

包装尺寸

L750xW640xH570mm

时间设定

1-99分59秒

真空泵

抽速约8m3/h

气体稳定时间

1分钟

真空度

100pa以内

电 源

AC220V 50-60Hz,所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

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